2022年10月26日，6只新ETF集体上市，包括国泰基金工业母机ETF(159667)、南方基金科创板新材料ETF(588160)、华夏基金机床ETF(159663)、博时基金科创新材料ETF(588010)、嘉实基金科创芯片ETF(588200)、华安基金科创板芯片ETF(588290)。