氮化硅可以做电的良导体,但并不像金属那样完全导电。氮化硅的电导率比一般绝缘体要高,但比铜等金属的电导率要低。这是因为氮化硅分子中的键合构成了离子和共价性质的混合,其结构中也存在着电子可以自由移动的区域,因此在薄膜和器件等许多电子学应用中,氮化硅可以作为一种良好的导电材料。而在硅基集成电路中,氮化硅通常被用作介质材料,用于制作场效应晶体管的栅极等部分。