该公司于1984年开始营业，于1994年10月3日在荷兰注册成立，向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。2010年，其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年，卖出222套机器，全球净销售收入56.51亿欧元，净利润14.67亿欧元，股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市