氮化硅检验一般涉及到厚度、硬度、化学成分和表面粗糙度等方面。首先进行样品制备和表面清洁，然后采用显微镜或扫描电镜进行厚度和表面粗糙度的观察和测量。

硬度测试可以采用石墨笔测定或者压痕法进行。化学成分分析可以采用X射线衍射光谱法或者拉曼光谱法进行。检验过程需要精确、严谨和科学，以确保氮化硅材料质量符合要求。