发射透射电镜(Scanning Transmission Electron Microscope,简称STEM)是一种使用电子束来观察样品的显微镜。与传统的透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)不同,STEM通过扫描电子束同时获得透射电子和散射电子的信号,从而可以同时获取样品的高分辨率透射像和散射像。
STEM的基本工作原理是将电子束聚焦在样品上,通过样品的透射和散射来获取图像信息。透射电子经过样品后形成透射像,可以显示样品的内部结构和成分分布。散射电子则通过与样品中原子的散射相互作用,形成散射像,可以提供样品的表面形貌和晶体结构信息。
相比于传统的TEM,STEM具有更高的分辨率和更丰富的信号信息。它可以实现更高的空间分辨率,可以观察到更小尺寸的细节和更细微的结构。STEM还可以通过特定的探测器配置,实现元素和化学组成的定量分析。由于其优越的性能,STEM在材料科学、纳米技术、生物科学等领域中得到广泛应用。