外籍华人办理5年居留证的具体步骤如下：

准备相关材料：

填写完整的《外国人在中国永久居留申请表》。

有效的外国护照或者能够代替护照的证件。

中国政府指定的卫生检疫部门出具的或者经中国驻外使、领馆认证的外国卫生医疗机构签发的健康证明书。

经中国驻外使、领馆认证的国外无犯罪记录证明。

四张二英寸近期正面免冠彩色照片。

相关法律规定的其他有关材料。

根据个人情况，可能还需要提供户口注销证明（自2020年之后，外籍华人需要提供这份材料）。

如果是来探亲或处理私人事务，需要提供亲属关系证明。

如果是来工作、学习或从事其他长期居留活动，需要提供单位邀请函或相关证明文件。

提交申请：本人到居留地县级以上地方人民政府公安机关出入境管理机构办理相关手续，并留存指纹等人体生物识别信息。

请注意，具体流程和要求可能因地区和政策变动而有所不同，建议在办理前仔细阅读并遵循当地公安机关出入境管理部门的最新规定和要求。同时，建议提前咨询相关部门或机构，以确保准备齐全并了解整个流程，从而顺利办理5年居留证。